ObaVákuové čerpadlo a kompresorsú zariadenia na spracovanie plynu, ale ich pracovné princípy a rozsah aplikácie sú rôzne.
Hlavnou funkciou vákuového čerpadla je odstránenie plynu z reakčnej komory, aby sa znížil tlak v nádobe, aby sa dosiahol vopred určený stupeň vákua. Plyn sa extrahuje z priestoru cez mechanizmus sania a výfukového plynu, aby sa vytvoril vákuový stav. Vákuové čerpadlá sa zvyčajne používajú v laboratóriách, výrobných a výrobných poliach. V oblátkach Fabs, leptací zariadenia, depozičné vybavenie, litografické vybavenie EUV, zariadenia na implantáciu iónov, detekčné a charakterizačné zariadenia atď.
Funkciou kompresora je vdychovať plyn a stlačiť ho, zvýšiť tlak plynu, stlačiť plyn do menšieho objemu a zvýšiť hustotu a tlak plynu. Jeho pracovným princípom je komprimovať plyn cez výfukový ventil a potom vložiť stlačený plyn do plynovej nádrže alebo iného zariadenia. Kompresory sa zvyčajne používajú pri spracovateľských a výrobných poliach. Plyn CDA, o ktorom často hovoríme, poskytuje kompresor. CDA sa používa na riadenie rôznych automatizačných zariadení a ventilov. V prípade výroby polovodičov musí byť CDA veľmi čistá a suchá. Výstup vzduchu kompresorom musí prejsť sofistikovaným filtračným systémom, aby sa odstránil olej, vlhkosť a ďalšie častice, aby sa zabezpečilo, že nedôjde k kontaminácii oblátky.
Aké sú kategórieVákuové čerpadlo a kompresor?
V polovodičových zariadeniach sa bežne používajú suché čerpadlá a molekulárne čerpadlá. Suché čerpadlo sa vzťahuje na vákuové čerpadlo, ktoré nepoužíva žiadnu tekutinu ako tesnenie alebo chladiace médium, čím sa zabráni problému kontaminácie olejovej pary. Všeobecne sa používa na drsnú vákuovú extrakciu polovodičového zariadenia. Molekulárne čerpadlá môžu dosiahnuť extrémne vysoké hladiny vákua. Suché čerpadlá a molekulárne čerpadlá sa často používajú v kombinácii v polovodičových zariadeniach, aby sa uspokojili potreby rôznych hladín vákua.
Kompresory sa dajú rozdeliť na piest, skrutku, odstredivky, rotačné kompresory s rotačnými lopatkami atď.
Vďaka rôznym návrhom a pracovným princípom vákuového čerpadla a kompresora nemôžu vákuové čerpadlá obvykle vymeniť kompresory. Aj keď vákuové čerpadlá môžu znížiť tlak a hustotu plynov, nemôžu stlačiť plyny do menších objemov a vyšších tlakov. Okrem toho sú z dôvodu obmedzeného výkonu a pracovných charakteristík vákuových čerpadiel najvhodnejšie na manipuláciu s plynmi s nízkou hustotou a nízkotlakovým prostredím.
Preto, ak je potrebné plyn stlačiť do menšieho objemu a vyššieho tlaku, mal by sa použiť kompresor. Naopak, ak musí byť plyn extrahovaný a vytvorí sa vákuový stav, malo by sa použiť vákuové čerpadlo.
Aj keď obojeVákuové čerpadlo a kompresorSú zariadenia používané na spracovanie plynu, existujú veľké rozdiely v dizajnovom a pracovnom princípe. Aj keď vákuové čerpadlo môže znížiť tlak a hustotu plynu, nemôže vymeniť kompresor, najmä ak je potrebné stlačiť plyn do menšieho objemu a vyššieho tlaku.
